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IPC H01L21/67 專利列表

共 4 筆結果

用於在製程工具間傳送小批量基材承載件之系統與方法

應用材料股份有限公司

案號 0931017792004-01-27IPC H01L21/67

以不需中央舉升銷的方式舉升玻璃基材

應用材料股份有限公司

案號 0921323412003-11-18IPC H01L21/67

用以傳送基材承載件之系統與方法

應用材料股份有限公司

案號 0921240362003-08-29IPC H01L21/677

直立式晶圓承載裝置

華邦電子股份有限公司

案號 0911354922002-12-06IPC H01L21/677

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