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IPC H05H15/00 專利列表

共 3 筆結果

監控電漿製程的方法

台灣積體電路製造股份有限公司

案號 0921331392003-11-26IPC H05H15/00

靜電加速器，及具有靜電加速器之離子植入裝置

日新意旺機器股份有限公司

案號 0921023992003-02-06IPC H05H15/00

電漿溢出腔室孔徑之控制方法

應用材料股份有限公司

案號 0921003052003-01-08IPC H05H15/00

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