IPC B24B49/12 專利列表
共 6 筆結果
研磨機台之膜層厚度的偵測裝置與方法
應用材料股份有限公司
案號 0931062332004-03-09IPC B24B49/12
用於研磨墊片窗口之抗散射層
羅門哈斯電子材料ＣＭＰ控股公司
案號 0931023102004-02-02IPC B24B49/12
研磨控制之方法與設備
應用材料股份有限公司
案號 0921328122003-11-21IPC B24B49/12
拋光狀態監測裝置，以及拋光裝置及方法
荏原製作所股份有限公司
案號 0921288042003-10-17IPC B24B49/12
殘膜監測裝置、研磨裝置、半導體元件製造方法以及半導體元件
尼康股份有限公司
案號 0921156182003-06-10IPC B24B49/12
具有光感測器之研磨墊
史特勞斯堡公司
案號 0921131012003-05-13IPC B24B49/12