IPC H01L21/68 專利列表
共 237 筆結果
雙臂式基板移送裝置
布魯克斯自動機械公司
案號 0921145322003-05-29IPC H01L21/68
濕製程系統之晶圓加工方法
應用材料股份有限公司
案號 0921144322003-05-28IPC H01L21/68
基板保持裝置及基板檢查裝置
奧林柏士股份有限公司
案號 0921144362003-05-28IPC H01L21/68
基板組裝裝置與基板組裝方法
日立製作所股份有限公司
案號 0921143012003-05-27IPC H01L21/68
製造半導體元件的裝置
周星工程股份有限公司
案號 0921139772003-05-23IPC H01L21/68
大型基材測試系統
應用材料股份有限公司
案號 0921140772003-05-23IPC H01L21/68
搬運用機械手臂之教學裝置及搬運用機械手臂之教學方法
安川電機股份有限公司
案號 0921140652003-05-23IPC H01L21/68
搬運車、製造裝置及搬運系統
村田機械股份有限公司
案號 0921138812003-05-22IPC H01L21/68
無油脂環境之負載裝置
應用材料股份有限公司
案號 0921137582003-05-21IPC H01L21/68
晶圓預對準裝置及方法
安川電機股份有限公司
案號 0921135072003-05-19IPC H01L21/68
基板處理裝置及基板處理方法
荏原製作所股份有限公司
案號 0921132842003-05-16IPC H01L21/68
載台裝置及曝光裝置
尼康股份有限公司
案號 0921132922003-05-16IPC H01L21/68
裝載室中之基板匣
友達光電股份有限公司
案號 0921130462003-05-14IPC H01L21/68
十字標記搬運方法、十字標記搬運裝置以及曝光裝置
尼康股份有限公司
案號 0921129002003-05-13IPC H01L21/68
十字標記保持方法、十字標記保持裝置及曝光裝置
尼康股份有限公司
案號 0921128992003-05-13IPC H01L21/68
基板承載裝置
友達光電股份有限公司
案號 0921126702003-05-09IPC H01L21/68
探針卡搬運裝置及被接合體移送機構
東京威力科創股份有限公司
案號 0921124532003-05-07IPC H01L21/68
檢測晶圓盒之卡匣是否變形的方法
中華聯合半導體設備製造股份有限公司
案號 0921124332003-05-07IPC H01L21/68
基板處理裝置及基板處理方法
東京威力科創股份有限公司
案號 0921124642003-05-07IPC H01L21/68
安裝方法及安裝裝置
東麗工程股份有限公司
案號 0921096902003-04-25IPC H01L21/68