IPC H01L21/68 專利列表
共 237 筆結果
安裝方法及安裝裝置
東麗工程股份有限公司
案號 0921096912003-04-25IPC H01L21/68
基板搬送機構及基板搬送方法
東京威力科創股份有限公司
案號 0921095052003-04-23IPC H01L21/68
具有用於輸送基板之夾具的輸送裝置，及具有此裝置之晶片接合機
艾斯克通商公司
案號 0921093452003-04-22IPC H01L21/68
支持裝置、光學裝置及曝光裝置、以及元件製造方法
尼康股份有限公司
案號 0921093072003-04-22IPC H01L21/68
半導體元件之製程參數特性的量測電路
南亞科技股份有限公司
案號 0921092092003-04-21IPC H01L21/68
定位搬送中物件之方法及裝置
東京威爾斯股份有限公司
案號 0921088622003-04-16IPC H01L21/68
靜電夾持基台以及基板處理裝置（一）
安內華股份有限公司
案號 0921087202003-04-15IPC H01L21/68
靜電夾持基台以及基板處理裝置（二）
安內華股份有限公司
案號 0921087212003-04-15IPC H01L21/68
拋光裝置及基板處理裝置
荏原製作所股份有限公司
案號 0921086182003-04-15IPC H01L21/68
半導體處理裝置之埠構造
東京威力科創股份有限公司
案號 0921085802003-04-11IPC H01L21/68
半導體元件搬運機之測試溫度誤差補償裝置
未來產業股份有限公司
案號 0921083442003-04-11IPC H01L21/68
可移動元件之多向性掃描及其離子束監測配置
應用材料股份有限公司
案號 0921082702003-04-10IPC H01L21/68
製造半導體元件之設備及方法
細美事有限公司
案號 0921082092003-04-10IPC H01L21/68
半導體裝載站對準裝置
美商布魯克斯自動機械美國公司
案號 0921081822003-04-10IPC H01L21/68
半導體製造裝置之工件支持器
住友電氣工業股份有限公司
案號 0921081212003-04-09IPC H01L21/68
具彈性薄膜之承載頭
應用材料股份有限公司
案號 0921079412003-04-07IPC H01L21/68
電拋光及／或電鍍裝置及方法
ＡＣＭ研究股份有限公司
案號 0921079062003-04-07IPC H01L21/68
用於處理裝置之工件支持器及使用該工件支持器之處理裝置
住友電氣工業股份有限公司
案號 0921075132003-04-02IPC H01L21/68
晶圓濕蝕刻夾持治具
弘塑科技股份有限公司
案號 0921074232003-04-01IPC H01L21/68
用於在烤爐中輸送基板的裝置
艾斯克通商公司
案號 0921073722003-04-01IPC H01L21/68