IPC H01L21/68 專利列表
共 237 筆結果
晶圓臺座傾斜機構
艾克塞利斯科技公司
案號 0911363642002-12-17IPC H01L21/68
薄板狀被加工物用的支持基板
迪思科股份有限公司
案號 0911362902002-12-16IPC H01L21/68
基板偵知裝置
神鋼電機股份有限公司
案號 0911358242002-12-11IPC H01L21/68
用於操作基板載具之機械手臂之自動校準方法與用於執行該方法之夾具
應用材料股份有限公司
案號 0911354882002-12-06IPC H01L21/68
靜電吸盤模組及冷卻系統
ＴＯＴＯ股份有限公司
案號 0911351922002-12-04IPC H01L21/68
電漿處理室之嵌入環
應用材料股份有限公司
案號 0911352192002-12-04IPC H01L21/68
高速拾取頭
英特康科技公司
案號 0911351652002-12-04IPC H01L21/68
晶圓盒及工件輸送件分類工具
應用材料股份有限公司
案號 0911351022002-12-03IPC H01L21/68
基板收納用卡匣
愛科技股份有限公司
案號 0911349812002-12-03IPC H01L21/68
承載器校準之方法與設備，承載搬運器以及半導體搬運設備
應用材料股份有限公司
案號 0911349722002-12-02IPC H01L21/68
具導電性之轉移構件及其製造方法
杜邦股份有限公司
案號 0911349292002-12-02IPC H01L21/68
半導體晶圓運送方法及使用此方法之半導體晶圓運送裝置
日東電工股份有限公司
案號 0911349032002-12-02IPC H01L21/68
儲存多數半導體晶圓之卡匣
迪思科股份有限公司
案號 0911348372002-11-29IPC H01L21/68
晶片取放頭機構
威控自動化機械股份有限公司
案號 0911352272002-11-29IPC H01L21/68
晶座、氣相成長裝置、磊晶晶圓的製造裝置、磊晶晶圓的製造方法以及磊晶晶圓
信越半導體股份有限公司
案號 0911348342002-11-29IPC H01L21/68
多〔雙〕件晶圓拘束環及其製造方法
慶康科技股份有限公司
案號 0911349882002-11-28IPC H01L21/68
具有工作特性薄膜之半導體組件處理裝置
安堤格里斯公司
案號 0911344572002-11-27IPC H01L21/68
晶片載體的固定程序
賀利氏材料技術公司
案號 0911344832002-11-27IPC H01L21/68
利用載具門達成具有接地路徑之前開式晶圓載具
美商恩特葛瑞斯股份有限公司
案號 0911344612002-11-27IPC H01L21/68
用於固定半導體晶片之裝置
艾斯克通商公司
案號 0911344292002-11-27IPC H01L21/68