IPC H01L21/68 專利列表
共 237 筆結果
於一基體上定位與放置一半導體晶粒的眼點特徵之方法
太谷電子公司
案號 0921018902003-01-28IPC H01L21/68
基板之搬移方法
東京威力科創股份有限公司
案號 0921018192003-01-28IPC H01L21/68
方形板狀工件之移載方法及移載裝置
光洋熱系統股份有限公司
案號 0921017092003-01-27IPC H01L21/68
定心機構、定心單元、半導體製造裝置、及定心方法
三星電子股份有限公司
案號 0921017322003-01-27IPC H01L21/68
晶片之拾取裝置,其製造方法及半導體製造裝置
夏普股份有限公司
案號 0921015892003-01-24IPC H01L21/68
具有適合安裝形狀之機構蓋部的晶圓載具門
恩特葛瑞斯股份有限公司
案號 0921009082003-01-16IPC H01L21/68
近接式感應器
應用材料股份有限公司
案號 0921009262003-01-16IPC H01L21/68
製程條件感應晶圓及資料分析系統
聖斯艾瑞公司
案號 0921008932003-01-16IPC H01L21/68
保存半導體晶圓用的晶圓容器
安堤格里斯公司
案號 0921007872003-01-15IPC H01L21/68
晶圓載具門及具有沙漏型凸鍵槽之鎖存機構
安堤格里斯公司
案號 0921007892003-01-15IPC H01L21/68
用於製造半導體裝置的晶圓升降銷
周星工程股份有限公司
案號 0921007462003-01-14IPC H01L21/68
包含晶座組件之設備
周星工程股份有限公司
案號 0921006582003-01-13IPC H01L21/68
覆晶接合機及用於該接合機之方法
先進系統自動化有限公司
案號 0921001012003-01-03IPC H01L21/68
晶圓傳送設備
昶驎科技股份有限公司
案號 0921000752003-01-02IPC H01L21/68
處理碟狀基板之裝置及方法
瑪特森濕式產品有限公司
案號 0911376432002-12-27IPC H01L21/68
靜電夾具
三菱重工業股份有限公司
案號 0911374652002-12-26IPC H01L21/68
在高產量反應器內之複合式基板加工系統及方法
尖端科技材料公司
案號 0911373092002-12-25IPC H01L21/68
半導體搬運機的元件輸送系統之工作高度識別裝置
未來產業股份有限公司
案號 0911368512002-12-20IPC H01L21/68
晶圓載具，製程器具系統及在製程器具中之晶圓加工方法
尖端科技材料公司
案號 0911363862002-12-17IPC H01L21/68
基板保持裝置、曝光裝置及裝置製造方法
尼康股份有限公司
案號 0911363722002-12-17IPC H01L21/68