IPC G03F1/14 專利列表
共 33 筆結果
遮罩基板及其製造方法
東芝股份有限公司
案號 0921039082003-02-25IPC G03F1/14
曝光光罩圖案之形成方法、曝光光罩圖案、及半導體裝置之製造方法
新力股份有限公司
案號 0921023922003-02-06IPC G03F1/14
光罩及其製造方法
杜邦德照相面具股份有限公司
案號 0921014922003-01-23IPC G03F1/14
用於遮罩植入編碼ＲＯＭ之生根的雙層編碼光罩
中芯國際集成電路製造（上海）有限公司
案號 0911378772002-12-30IPC G03F1/14
用於製造擴散膜之複合光罩
巴川製紙所股份有限公司
案號 0911358142002-12-11IPC G03F1/14
對０相區域附加平行線以增強透明電場相移位光罩之方法
格羅方德半導體公司
案號 0911357952002-12-11IPC G03F1/14
在１８０相區域周圍形鉻界線以增強透明電場相移位光罩之方法
高級微裝置公司
案號 0911357792002-12-11IPC G03F1/14
在０相與１８０相區域周圍形成邊界區域以增強透明電場相移位光罩之方法
格羅方德半導體公司
案號 0911357782002-12-11IPC G03F1/14
光罩圖案之形成方法、電腦程式、光罩之製作方法、及半導體裝置之製造方法
東芝股份有限公司
案號 0911351472002-12-04IPC G03F1/14
移相遮罩
億恒科技公司
案號 0911349342002-12-02IPC G03F1/14
一種低反射之相位及穿透率可調之光罩結構
財團法人國家實驗研究院
案號 0911343962002-11-26IPC G03F1/14
用於製造高度積體電路裝置之光罩，產生該光罩之佈局之方法，該光罩之製造方法，以及使用該光罩用於高度積體電路裝置之製造方法
三星電子股份有限公司
案號 0911340822002-11-22IPC G03F1/14
互補型光罩及其製造方法、曝光方法以及半導體裝置及其製造方法
新力股份有限公司
案號 0911331332002-11-12IPC G03F1/14