IPC H01L21/68 專利列表
共 237 筆結果
半導體裝置製造線
三菱電機股份有限公司
案號 0921072312003-03-31IPC H01L21/68
基板輸送方法、基板輸送機構及基板研磨裝置
荏原製作所股份有限公司
案號 0921070722003-03-28IPC H01L21/68
乾式蝕刻設備及其乾式蝕刻電極及其嵌入環
台灣積體電路製造股份有限公司
案號 0921070502003-03-28IPC H01L21/68
基板處理裝置
斯克林集團公司
案號 0921069482003-03-27IPC H01L21/68
可擴充式半導體元件構裝設備
竑騰科技股份有限公司
案號 0921067142003-03-26IPC H01L21/68
一種半導體晶圓載具內部之污染採樣方法
力晶半導體股份有限公司
案號 0921063992003-03-21IPC H01L21/68
避免出氣污染之前開式晶圓盒以及避免出氣污染之方法
力晶半導體股份有限公司
案號 0921061282003-03-20IPC H01L21/68
靜電吸盤之製造方法
慶康科技股份有限公司
案號 0921064772003-03-20IPC H01L21/68
在真空環境下操持平板物之裝置
美商布魯克斯自動機械美國公司
案號 0921061142003-03-20IPC H01L21/68
用於晶圓之夾持裝置、夾持銷、滾輪夾持裝置及夾持滾輪
台灣積體電路製造股份有限公司
案號 0921058792003-03-18IPC H01L21/68
矽晶圓製造機台之控制方法
應用材料股份有限公司
案號 0921056022003-03-14IPC H01L21/68
半導體晶圓保護單元及半導體晶圓處理方法
迪思科股份有限公司
案號 0921052382003-03-11IPC H01L21/68
薄板材之移載方法及裝置暨使用該移載方法之基板的製造方法
松下電器產業股份有限公司
案號 0921051852003-03-11IPC H01L21/68
照射距離自動調整方法及裝置
日商ＪＳＷ阿克迪納系統股份有限公司
案號 0921051052003-03-10IPC H01L21/68
一種基板支撐結構
友達光電股份有限公司
案號 0921051152003-03-10IPC H01L21/68
基材校準設備
應用材料股份有限公司
案號 0921050372003-03-07IPC H01L21/68
邏輯積體電路中掃描鏈之故障定位方法
聯華電子股份有限公司
案號 0921050602003-03-07IPC H01L21/68
用以製造半導體晶片之分配器裝置
普羅科技有限公司
案號 0921048302003-03-06IPC H01L21/68
半導體或液晶製造裝置
住友電氣工業股份有限公司
案號 0921046722003-03-05IPC H01L21/68
真空中之基板保持方法、液晶顯示裝置之製造方法及基板保持裝置
艾美柯技術股份有限公司
案號 0921046492003-03-05IPC H01L21/68