IPC H01L21/68 專利列表
共 237 筆結果
液處理裝置及液處理方法
東京威力科創股份有限公司
案號 0921044152003-03-03IPC H01L21/68
裝載埠、半導體製造裝置、半導體製造方法以及檢測晶圓轉接器之方法
富士通微電子股份有限公司
案號 0921044142003-03-03IPC H01L21/68
支撐台及無塵室
特麗康科技有限公司
案號 0921042762003-02-27IPC H01L21/68
生產工具中可重複後段蝕刻關鍵尺寸之方法
應用材料股份有限公司
案號 0921043322003-02-27IPC H01L21/68
基板處理裝置之運轉方法
安內華股份有限公司
案號 0921041952003-02-27IPC H01L21/68
迷你環境方式的半導體製造裝置
近藤工業股份有限公司
案號 0921040932003-02-26IPC H01L21/68
一種用於容納複數個晶圓之晶圓容器、在一前開口晶圓容器中限制複數個晶圓之方法及在一前開口晶圓容器中使晶圓脫離一彈性體晶圓限制襯墊之方法
安堤格里斯公司
案號 0921040162003-02-26IPC H01L21/68
探測區域的設定方法及探測裝置
東京威力科創股份有限公司
案號 0921039342003-02-25IPC H01L21/68
半導體處理系統之基板支撐機構
東京威力科創股份有限公司
案號 0921037982003-02-24IPC H01L21/68
基材支持器、用於傳送基材的負載鎖定室、用以將一基材對準於一基材支持器上的方法
應用材料股份有限公司
案號 0921035772003-02-20IPC H01L21/68
用於黏接機之晶片傳送站
Ｆ＆Ｋ狄爾佛堤克波德工程股份有限公司
案號 0921035362003-02-20IPC H01L21/68
用於製造半導體裝置的叢集式灰化設備
ＰＳＫ公司
案號 0921034572003-02-19IPC H01L21/68
帶有空氣和磁鐵之反重力座
尼康股份有限公司
案號 0921033852003-02-19IPC H01L21/68
處理半導體晶圓之整合系統
ＡＳＭ努突爾股份有限公司
案號 0921032572003-02-17IPC H01L21/68
基板吸著裝置
奧林柏士光學工業股份有限公司
案號 0921031682003-02-14IPC H01L21/68
用於預先簡化晶圓製造設備之設備連接座
應用材料股份有限公司
案號 0921030242003-02-13IPC H01L21/68
晶圓處理站之本地儲存
縱達股份有限公司
案號 0921026942003-02-10IPC H01L21/68
防止機械手臂撞傷晶圓裝置及系統
台灣積體電路製造股份有限公司
案號 0921024882003-02-07IPC H01L21/68
具有可拆式墊的晶圓夾環及其製作方法
台灣積體電路製造股份有限公司
案號 0921019302003-01-29IPC H01L21/68
設有夾頭及匹配箱之設備
周星工程股份有限公司
案號 0921023372003-01-29IPC H01L21/68