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IPC H01L21/66 專利列表

共 250 筆結果

評估特定圖形尺寸的量測能力之方法

台灣積體電路製造股份有限公司

案號 0921088502003-04-16IPC H01L21/66

閘極氧化層厚度之量測方法

台灣積體電路製造股份有限公司

案號 0921087382003-04-15IPC H01L21/66

半導體磊晶晶圓之耐壓測定方法及半導體磊晶晶圓

住友電氣工業股份有限公司

案號 0921086562003-04-15IPC H01L21/66

基板傳送機台及其偵測裝置

友達光電股份有限公司

案號 0921085242003-04-14IPC H01L21/66

透過度量衡波形之信號處理的異常光阻線/空間輪廓檢測

安華高科技通用IP(新加坡)公司

案號 0921085712003-04-14IPC H01L21/66

製程裝置中金屬污染與微粒子之檢測方法

旺宏電子股份有限公司

案號 0921085072003-04-14IPC H01L21/66

測試溫度誤差的補償方法

未來產業股份有限公司

案號 0921083452003-04-11IPC H01L21/66

防靜電破壞之IC元件測試系統

聯華電子股份有限公司

案號 0921082802003-04-10IPC H01L21/66

具有受控順應性之單軸操作器

泰瑞丹公司

案號 0921080782003-04-09IPC H01L21/66

具有容易更換的介面單元之半導體測試系統

泰瑞丹公司

案號 0921080742003-04-09IPC H01L21/66

用以決定反面閘道特徵之方法和裝置

住友電氣工業股份有限公司

案號 0921081202003-04-09IPC H01L21/66

多批次積體電路封裝件之自動測試流程

華東科技股份有限公司

案號 0921081912003-04-08IPC H01L21/66

測試光罩、光暈圈評估方法、以及光暈圈補償方法

富士通半導體股份有限公司

案號 0921077882003-04-04IPC H01L21/66

評估金屬內連線之空洞缺陷的測試結構與測試方法

台灣積體電路製造股份有限公司

案號 0921074392003-04-01IPC H01L21/66

晶圓無墨點測試方法

旺宏電子股份有限公司

案號 0921073172003-03-31IPC H01L21/66

晶圓表面離子取樣系統及方法

力晶半導體股份有限公司

案號 0921072542003-03-31IPC H01L21/66

半導體試驗裝置、半導體裝置試驗用接觸基板、半導體裝置的試驗方法、半導體裝置及其製造方法

東芝股份有限公司

案號 0921071522003-03-28IPC H01L21/66

測試工具,測試方法

PDF溶劑有限公司

案號 0921069122003-03-27IPC H01L21/66

基於工具對工具匹配目的之量測繞射信號調適

東京威力科創美國股份有限公司

案號 0921068762003-03-26IPC H01L21/66

利用光學測量判斷殘留薄膜之方法

東芝股份有限公司

案號 0921067782003-03-26IPC H01L21/66

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